射频等离子体处理对TiO2薄膜光电转换和亲水性的影响

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【摘要】

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用反应射频溅射法在导电玻璃上制备TiO2薄膜,并用Ar射频等离子体对TiO2薄膜进行处理.利用XRD、XPS、UV-VIS透射光谱和AFM等测试手段研究Ar射频等离子体处理对TiO2纳米薄膜的

【作者】

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韩俊波王念于国萍魏正和钟家柽王取泉周

【机构】

：

武汉大学,武汉大学,武汉大学

【出处】

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液晶与显示

【发表日期】

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2005年3期

【关键词】

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等离子体处理射频溅射光电转换亲水性 TiO2 纳米晶 plasma treatment RF sputtering photo-electrical

【基金项目】

：

湖北省自然科学基金

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用反应射频溅射法在导电玻璃上制备TiO2薄膜,并用Ar射频等离子体对TiO2薄膜进行处理.利用XRD、XPS、UV-VIS透射光谱和AFM等测试手段研究Ar射频等离子体处理对TiO2纳米薄膜的结构、成分和光电性能的影响,用液滴形貌分析法测量水滴在TiO2薄膜表面的接触角.经过Ar射频等离子处理后,用TiO2薄膜组装的光电池的光电流提高了约80%,TiO2薄膜的亲水角由66°左右迅速减小.

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