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针对毫米级小尺寸曲面粗糙度测量的难点,文章简述了几种常用测量方法,分析了粗糙度样板比对测量、印模法间接测量、探针法的优缺点。详述了光学干涉法的原理、试验结果及分析,相比其他方法,光学干涉法具有高精度、测量范围多变、被测对象型面要求低、测量不损伤零件表面的优点,更加适合测量小尺寸表面。
光学干涉法测量微小表面粗糙度的应用
【摘 要】
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针对毫米级小尺寸曲面粗糙度测量的难点,文章简述了几种常用测量方法,分析了粗糙度样板比对测量、印模法间接测量、探针法的优缺点。详述了光学干涉法的原理、试验结果及分析
【机 构】
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中国南方航空工业(集团)有限公司,
【出 处】
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工业计量
【发表日期】
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2016年S1期
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