酞菁铜有机静电感应三极管的研制

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采用真空蒸镀和磁控溅射等工艺,利用纯度为99.995%的有机材料酞菁铜(简称CuPc),试制了Cu/CuPc/AI/CuPc/Cu5层结构的有机静电感应三极管。在室温下测试栅极Al/CuPc的肖特基势垒特性,发现它具有良好的整流特性;通过对该三极管特性进行测试研究,结果表明,该三极管驱动电压低,呈不饱和I-V特性,且其工作特性依赖于铝栅极的电压。
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