【摘 要】
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抛光过程中纳米裂纹的演变对工件质量有重要影响。为了探究三体抛光过程中纳米裂纹的演化情况,建立了分子动力学(MD)模型和理论计算模型,研究了纳米裂纹的演化过程以及初始温
【机 构】
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贵州大学机械工程学院,国网湖北直流运检公司
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51675172),中国博士后科学基金(2019M662765),贵州省科学技术基金一般项目(黔科合基础[2020]1Y227)
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抛光过程中纳米裂纹的演变对工件质量有重要影响。为了探究三体抛光过程中纳米裂纹的演化情况,建立了分子动力学(MD)模型和理论计算模型,研究了纳米裂纹的演化过程以及初始温度对裂纹演化的影响。研究发现仿真和计算结果吻合较好,且裂纹倾向于闭合而不是扩展。仿真表明,裂纹愈合有两种不同的方式:原子的协同位移和相变原子的填充。此外,初始温度变化会影响原子的相变和裂纹的最终愈合效果。计算表明,抛光过程中沿裂纹线存在明显的应力分布不均,理论计算得到的应力能很好地解释裂纹在模拟过程中的愈合过程。研究结果可为少缺陷单晶硅的制备
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