抗金属污染的超绝缘材料研究

来源 :原子核物理评论 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Spring_Song
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使用串列加速器产生的32S离子对不同厚度的聚碳酸酯、聚脂膜进行了不同密度的辐照,并在不同温度、不同碱度和不同蚀刻时间条件下,研究了蚀刻对孔形状、孔径以及膜表面损耗等的影响.通过表面金属镀膜的方式研究了该膜的抗金属污染的绝缘性能.结果显示,其抗金属污染的绝缘性能得到了大幅度提高.
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