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Fabrication of 3D structure by combining AFM and chemical etching on crystalline silicon surface
【机 构】
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PrecisionEngineeringResearchInstitute,SchoolofChemistryandMaterialScience
【出 处】
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哈尔滨工业大学学报：英文版
【发表日期】
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2006年6期
【基金项目】
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Sponsored by thc Natural Science Foundation of China （Grant No. 20271019）, the Natural Science Foundation of Heilongjiang Province （Grant No. B200504） and the Education Department Foundation of Heilon
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