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本文对复制模塑法中的硅模具制作工艺进行了研究，分别采用了湿法腐蚀与干法刻蚀法制备硅模具，并将两种方法结果进行比较分析。
复制模塑法中硅模具制作工艺的研究
【摘 要】
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本文对复制模塑法中的硅模具制作工艺进行了研究，分别采用了湿法腐蚀与干法刻蚀法制备硅模具，并将两种方法结果进行比较分析。
【机 构】
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江苏省交通技师学院
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2013年28期
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