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在已有的扫描隧道显微镜(STM)基础上设计了一套集STM、光子扫描隧道显微镜(PSTM)、近场扫描光学显微镜(NSOM)、扫描近场声学显微镜(SNAM)为一体的多模式扫描探针显微系统(SPM)。系统的4种模式可通过转换开关方便地切换,探头的更换也很容易。利用本系统对典型样品进行了扫描成像。测试表明,系统具有良好的稳定性和超高分辨率。