计算多层膜组分和厚度的软件FPMULTI及其应用

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：freebernie

【摘要】

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本文简述了可用于多层镀层和多层薄膜成分和厚度同时分析的计算机软件ＦＰＭＵＬＴＩ的主要特点。这个基于基本参数法的计算机软件可以分析多至１０层，最多含２５个元素的各类试样。所需的校正标样可

【作者】

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陶光仪吉昂

【机构】

：

中国科学院上海硅酸盐研究所

【出处】

：

光谱学与光谱分析

【发表日期】

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1999年2期

【关键词】

：

X射线荧光光谱多层膜软件薄膜镀层 XRF Multilayer analysis Computer software

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本文简述了可用于多层镀层和多层薄膜成分和厚度同时分析的计算机软件ＦＰＭＵＬＴＩ的主要特点。这个基于基本参数法的计算机软件可以分析多至１０层，最多含２５个元素的各类试样。所需的校正标样可以是纯元素或多元素的薄膜标样，亦可以是纯元素或多元素的块样。本文的研究表明，用ＦＰＭＵＬＴＩ的分析结果明显优于检量法线，体现了基本参数法的优点．

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