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本文用ICP-MS仪直接测定了硅铁中的Ca、Al、Mn、Cr、P的含量.硅铁用HF-HNO3混合酸低温溶解完全后,加入高氯酸除氟,用硝酸溶解盐类,加入内标元素45Sc,采用内标法,用ICP-MS仪进行测定.讨论了基体铁的影响及硅对Ca测定的影响.该方法的加标回收率为:98.2%～102%;相对标准偏差RSD为1.6%～3.5%.本文所研究的方法具有简便、快速、准确等特点,可用于硅铁样品微量杂质元素的分析.