【摘 要】
：
本文将Bowtie孔径结构与金属-介质-金属结构相结合,提出了一种新的局域表面等离子体共振纳米直写光刻结构,得益于金属-介质-金属结构中顶层透射Ag对透射光的放大增强以及底层
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
本文将Bowtie孔径结构与金属-介质-金属结构相结合,提出了一种新的局域表面等离子体共振纳米直写光刻结构,得益于金属-介质-金属结构中顶层透射Ag对透射光的放大增强以及底层反射Ag对透射光的反射补偿作用,聚焦光斑的尺寸得到压缩的同时深度得到了显著提高,理论仿真中当焦斑的FWHM为28 nm时,焦斑深度可以达到20 nm以上,这相对于传统纳米直写光刻结构,将焦斑的深度提升了4倍。随后,通过相关验证实验在光刻胶中获得了FWHM为47 nm,曝光深度为25 nm的焦斑图形,进一步证实了该结构在压缩焦斑尺寸以及
其他文献
机电工程是影响建筑工程整体性能发挥的重要因素,而暖通空调系统则是建筑机电系统的重要组成部分之一。加强暖通空调系统安装施工过程中,先进施工技术应用的力度,是确保暖通
随着科学技术的进步,工程机械行业发展的越来越快,液压节能技术的应用非常广泛。这一技术的优势非常明显,能够在加快施工效率的基础上,有效改善施工环境,起到良好的作用。因
近年来，我国的建筑工程建设越来越多，给排水施工也越来越受到重视。本文围绕给排水混凝土工程构筑物的裂缝成因及控制展开论述，涉及混凝土结构裂缝的影响、给排水混凝土裂缝形成
最近，在我们开展的一次关于深圳市居民生活水平调查时遇到这样一个问题：我们需要知道深圳居民的银行存款状况，所以拟了以下一个调查问题：“您现在的银行存款是（ ）？以下有六个备选
背景:党中央高度重视国资国企改革发展,习近平总书记明确指出要做强做优做大国有企业,不断提高国有企业的活力、影响力、控制力和抗风险能力。2018年10月召开的全国国有企业
在缺少电力规划的10年时间里。中国电力行业发展迅速,装机容量和电网规模都有了天翻地覆的变化。但是问题也很多,电力系统一度出现发展失控的情况。现在,电力改革继续进行。
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
因GPS测量技术取得了较快发展,GPS测量技术综合了传统的测量技术和现代电子技术的优势,将这二者有效地结为一体,使得GPS测量技术的性能逐渐提高。本文主要根据笔者自身工作经
一、引言沈阳铁西区曾经是沈阳大型工厂的集中地,过去国有大型工厂在倒闭或是搬迁后遗留下大面积的老旧建筑(如破旧厂房以及早期工人宿舍楼等),是能够见证沈阳曾经辉煌的工业