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针对鞘层结构，建立了鞘层模型和离子速度分布函数，导出了离子平均动能的积分表达式并得出数值积分的结果．用级数的两项拟合平均动能积分表达式的对数项，积分得到解析结果和简化结果．应用积分表达式、解析式及简化式进行计算，得出了圆柱形鞘层内不同位置（半径）处的粒子平均动能．结果表明鞘层越厚、粒子平均自由路程越小，则它们的差别越小．它们可有效地应用于散布在反应室各处粉体的刻蚀和纯化．