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通过化学反应可以在某些固体表面上形成一层化学薄膜,膜的质量是由成膜时膜表面的化学反应速率决定的.
化学成膜反应条件的探讨
【摘 要】
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通过化学反应可以在某些固体表面上形成一层化学薄膜,膜的质量是由成膜时膜表面的化学反应速率决定的.
【机 构】
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山东轻工业学院化学工程系
【出 处】
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山东轻工业学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年4期
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