77K下工作的双层多晶硅发射区RCA器件和电路

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jff3551

【摘要】

：

研究了掺磷双层多晶硅PCA器件和电路的制备工艺其温度特性，在工艺中采用自支准双极结构，生长一层RCA超薄氧化层，并用快速热退火处理RCA氧化层，研制的多晶硅发射区RCA晶体管不仅具

【作者】

：

叶红飞高玉芝等

【机构】

：

北京大学微电子学研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2001年9期

【关键词】

：

RCA晶体管 ECL集成电路双层多晶硅发射区 bipolar deviceRCA transistorpolysilicon emitterliquid n

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

研究了掺磷双层多晶硅PCA器件和电路的制备工艺其温度特性，在工艺中采用自支准双极结构，生长一层RCA超薄氧化层，并用快速热退火处理RCA氧化层，研制的多晶硅发射区RCA晶体管不仅具有较低的电流增益－温度依赖关系，而且还具有较快的工作速度，首次制备出多晶硅发射区RCA ECL静态二分频器的在室温下其工作经为1．1－1．2GHz，在液氮温度下能够正常工作，工作频率可达73MHz.

其他文献

北京市档案学会与中科院档案馆联合举办“档案学术前沿论坛”

针对云计算技术的迅速发展对档案信息化进程产生了越来越重要的影响,6月8日,北京市档案学会和中国科学院档案馆在中国科学院国家科学图书馆报告厅联合举办＂档案学术前沿论坛＂专

期刊

北京市档案学会学术前沿档案馆论坛中科院中国科学院专题报告会国家档案局

新媒体背景下高校图书馆员的新要求

新媒体时代语境对高校图书馆馆员提出了更高的新要求摒弃传统的单一观念,树立新型的多元服务型观念;掌握必要的网络信息技术能力和外语基本能力;在信息和读者之间搭建桥梁,扮

期刊

新媒体高校图书馆员要求New Media Librarians in University Requirements

领略学术论文的内里乾坤

探索文检课开展学术论文研究性阅读指导的教学模式,该模式源于阅读是写作的基础之理念。阐释浅阅读、深阅读和延伸阅读3个阶段的任务目标和具体内容,分析和纠正学生写作中认

期刊

学术论文研究性阅读深阅读延伸阅读教学模式academic paper research reading deep reading further re

希望关注垃圾分类领域

垃圾分类在上海实施了起来。此前我曾在日本感受过垃圾分类的实施,虽然麻烦,但是很有必要。不过关于垃圾分类的讯息,城市里的居民大多数都是在网上看到各种消息,还有社区发布

期刊

垃圾分类消息

导弹气动数据库管理系统分析与设计

导弹气动数据库管理系统结合具体风洞试验类型，建立相关数据结构。该系统由管理平台、后置处理、前置处理及其他软件接口部分组成。系统关键技术含气动数据结构的设计、数据的

期刊

空气动力学导弹试验数据数据库Aerodynamics Missile Experimental data Database

р—γ曲线法在海洋工程地基中应用的探讨

本文基于Mohr-Coulomb破坏准则和Rankine理论,对Reese和Matlock分别提出的砂性均匀土和粘性均匀土对桩的侧向极限抗力表达式进行了推算,提出了修正的极限抗力表达式,并以此为

期刊

桩р-γ曲线成层土上覆土压力pile p-y curve layer soil overburden soil presure

为什么二、三级断层对油气聚集起控制作用──复杂断块油气田形成条件系列论文之四

二、三级断层与四级断层最重要的差别在其发育的长期性和继承性。油气移聚期开始后，发育中的断层的封闭性将活跃地转化，引起强烈的再运移。如果邻近有多条正在发育中的断层，则在

期刊

地层厚度断层构造圈闭油气运移再运移Formation thickness Fault Structural trap Migration of

日本研究和试验堆的安全管理

介绍了日本研究和试验堆安全管理。作为一个例子，详细介绍了日本三号改建研究堆JRR-3的安全评价。

期刊

试验堆安全设计安全分析安全管理日本JRR-3研究堆research and testing reactorssafety analysissafet

高校移动图书馆服务研究

随着无线网络的普及应用,移动图书馆作为一种新型的图书馆服务方式正日益受到关注。首先对移动图书馆的概念和内涵进行了阐述,对国内外移动图书馆的实践应用现状进行调研并做

期刊

高校图书馆移动图书馆移动服务University library Mobile library Mobile Service

GTO关断特性的SPICE模拟

本文提出了用于模拟ＧＴＯ关断特性的ＳＰＩＣＥ等效电路模型。根据器件的工作特性并结合器件结构提取模型参数。用此模型对１０００Ａ／２５００Ｖ阳极短路型ＧＴＯ的关断特性进行了模拟，包括关断电流拖尾现象在内的整个关

期刊

晶闸管GTO模型关断特性SPICEPrecision engineeringSimulation

77K下工作的双层多晶硅发射区RCA器件和电路

与本文相关的学术论文