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基于矩阵积分法实现了Matlab对光刻部分相干二维成像的模拟，验证了Matlab编写的部分相干程序的可行性，加入了离焦对光刻分辨率的影响。通过建立部分相干光光刻仿真模型，并在二极照明方式下，对离焦对光刻成像的影响进行了模拟计算。结果表明，矩阵积分法降低了程序运算所用时间，微小的离焦对光刻部分相干成像影响巨大，必须考虑离焦对光刻分辨率造成的影响。