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本文介绍了准分子激光在材料加工方面的应用特点，机理，系统组成及应用，并对一些内容做了具体讨论。
准分子激光精细加工技术
【摘 要】
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本文介绍了准分子激光在材料加工方面的应用特点，机理，系统组成及应用，并对一些内容做了具体讨论。
【机 构】
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潍坊高等专科学校
【出 处】
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山东轻工业学院学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年3期
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