【摘 要】
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应变Si技术是延续摩尔定律最有效技术之一,重点研究了离子注入和热退火过程对应变Si材料中应力的影响,开展了不同离子注入类型、能量和剂量,以及热退火温度和时间对应变Si材
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应变Si技术是延续摩尔定律最有效技术之一,重点研究了离子注入和热退火过程对应变Si材料中应力的影响,开展了不同离子注入类型、能量和剂量,以及热退火温度和时间对应变Si材料特性影响的实验,并应用拉曼测试对实验结果进行了分析,结果表明:在剂量小于5×10 14 cm-2时,应变Si材料中的应力几乎不随离子注入的能量与剂量变化;应变Si材料在1 000℃以下,在60 min以内热退火,应力几乎不随温度与时间的变化而变化。
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