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本文提出了一个建立150VIGBT器件工艺模型的设计方案。并在设定的电学参数奈件下，选择了合适的掺杂浓度及厚度。利用模拟软件Tsuprem4和Medici对其闽值电压、击穿电压、开启时间和关断时间进行模拟，结果与设定的相关参数吻合得很好。
150VIGBT工艺模型设计
【摘 要】
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本文提出了一个建立150VIGBT器件工艺模型的设计方案。并在设定的电学参数奈件下，选择了合适的掺杂浓度及厚度。利用模拟软件Tsuprem4和Medici对其闽值电压、击穿电压、开启时
【机 构】
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江南大学信息工程学院
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2009年11期
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