应用MEMS技术,可以缩小传感器与探测器的体积——采用晶圆片大小的红外线气体探测器,可以制成体积小,精度高,可靠性也高,但是价格便宜的光学仪器。

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有一家传感器制造商,已经开始应用MEMS技术,在芯片上制造气体探测器样品了。这家公司的专有技术,有可能将体积庞大,价格昂贵的气体与化学品探测器和仪器制作在硅芯片上;这样的探测器,不论从体积大小方面考虑,还是从价格成本方面考虑,都能满足商业化的要求。 One of the sensor manufacturers, has begun to use MEMS technology to make gas detector samples on the chip. The company’s proprietary technology makes it possible to manufacture bulky and expensive gas and chemical detectors and instruments on silicon chips; such detectors, both in terms of size and price, Can meet the requirements of commercialization.
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