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本文介绍了低温等离子体的产生方法、产生机理以及低温等离子体在微电子工业、新型材料、加工技术和高分子材料改性等领域的最新应用。
低温等离子体的产生及应用
【摘 要】
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本文介绍了低温等离子体的产生方法、产生机理以及低温等离子体在微电子工业、新型材料、加工技术和高分子材料改性等领域的最新应用。
【出 处】
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渭南师专学报：自然科学版
【发表日期】
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1996年2期
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