【摘 要】
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在对材料的微/纳米级表层压痕硬度测试中,压痕周围出现的凸起对硬度的计算结果有很大的影响.采用压痕功法,通过载荷-压深曲线直接得到压痕过程中所作的功,利用原子力显微镜和
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院,哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
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在对材料的微/纳米级表层压痕硬度测试中,压痕周围出现的凸起对硬度的计算结果有很大的影响.采用压痕功法,通过载荷-压深曲线直接得到压痕过程中所作的功,利用原子力显微镜和Matlab软件,精确得到压痕中产生的塑性变形体积,并计算得到材料的硬度值.用压痕功法对单晶硅的压痕硬度进行了实验研究,并与其它方法进行了比较分析.结果表明：压痕功法得到的结果更稳定,凸起对结果影响较小.
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