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提高氧化铍的热导率，既能助其开拓新的发展空间，又能满足电子器件的散热需求，因而利用热丝化学气相沉积法在氧化铍上沉积得到与基体串、并联方式不同的、利于提高导热率的各种金刚石薄膜。通过扫描电镜和原子力显微镜观察薄膜表面的晶体形貌；采用X射线衍射仪分析薄膜成分；借助热物性激光测试仪测量金刚石膜／氧化铍基复合体的热扩散系数，并计算其热导率。结果表明：镀膜后可使氧化铍的热导率提高12．1％-34．4％；基体预处理方法、金刚石膜和氧化铍基体的串、并联方式对复合体的热导率均有较大影响。