新型一等大量块标准装置的研制

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采用多波长干涉法实现125~1 000 mm量块的高精度测量.633 nm、543 nm和612 nm 3种激光波长通过单根光纤引入到一台泰曼-格林型干涉仪中,采用小数重合法进行量块长度测量.改进的Edlen公式用于激光波长修正,干涉条纹小数采用5步移相法计算,专用的测量软件完成量块的自动测量.对测量装置进行了大量的测量实验,测量不确定度为U=0.02 μm+0.1×10-6L(k=3).
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