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本文通过对圆光栅刻划偏心与莫尔条纹图案特性之间对应关系的分析讨论,提出了在圆刻机上调整刻划偏心大小及方向的具体方法。
圆光栅刻划偏心分析与调整
【摘 要】
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本文通过对圆光栅刻划偏心与莫尔条纹图案特性之间对应关系的分析讨论,提出了在圆刻机上调整刻划偏心大小及方向的具体方法。
【机 构】
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上海机械学院,上海机械学院
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1991年6期
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