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文中阐述了离子源在离子束清洗和离子束辅助薄膜沉积(IAD)中的应用;通过分析离子束辅助沉积过程中的能量传递过程,讨论了各种工艺条件对离子束辅助沉积薄膜特性的影响,给出了离子束辅助沉积薄膜工艺选择的相应准则.
离子束辅助沉积薄膜工艺
【摘 要】
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文中阐述了离子源在离子束清洗和离子束辅助薄膜沉积(IAD)中的应用;通过分析离子束辅助沉积过程中的能量传递过程,讨论了各种工艺条件对离子束辅助沉积薄膜特性的影响,给出了
【机 构】
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同济大学,物理系,上海,200092株式会社光驰,日本,竹野,50-0801
【出 处】
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2007年国际光学薄膜技术及其应用研讨会
【发表日期】
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2007年5期
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