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本文介绍了几种测量薄膜内应力、吸收、散射的实验装置,利用这些装置对一些常用氧化物及其掺杂膜的内应力、吸收、散射、聚焦密度等特性进行了测试.同时借助于俄歇(Auger)能谱技术,X射线衍射术分析了薄膜的化学组分和晶体结构,得到了一些有意义的结果.
几种掺杂氧化物薄膜的特性测试及分析
【摘 要】
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本文介绍了几种测量薄膜内应力、吸收、散射的实验装置,利用这些装置对一些常用氧化物及其掺杂膜的内应力、吸收、散射、聚焦密度等特性进行了测试.同时借助于俄歇(Auger)能谱技术,X射线衍射术分析了薄膜的化学组分和晶体结构,得到了一些有意义的结果.
【机 构】
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浙江大学光仪系
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1986年6期
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