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期刊论文
表征硅片中氧的深度分布的间接测试方法
表征硅片中氧的深度分布的间接测试方法
来源 :上海计量测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangjun3812
【摘 要】
:
本文介绍了利用硅中产生热施主的退火,结合磨角和扩展电阻测试,用硅片的电阻率变化的纵向分布,来间接发表征硅片中的氧的深度分布的测试方法。
【作 者】
:
闵靖
邹子英
【机 构】
:
上海市计量测试技术研究院
【出 处】
:
上海计量测试
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
硅片
氧
深度分布
电阻率
热施主退火
测试
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本文介绍了利用硅中产生热施主的退火,结合磨角和扩展电阻测试,用硅片的电阻率变化的纵向分布,来间接发表征硅片中的氧的深度分布的测试方法。
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