【摘 要】
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针对电子散斑干涉(ESPI)法处理大位移时的困难,提出了一种改进的ESPI法.将数字散斑相关法(DSCM)引入ESPI中,由DSCM计算引起散斑去相关的面内位移,将所得二维面内位移对失配散
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院,中山大学生命科学院
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针对电子散斑干涉(ESPI)法处理大位移时的困难,提出了一种改进的ESPI法.将数字散斑相关法(DSCM)引入ESPI中,由DSCM计算引起散斑去相关的面内位移,将所得二维面内位移对失配散斑场进行校准,恢复干涉条纹.用对离面位移敏感的ESPI光路,结合相移方法求得对应离面位移的相位数据,和二维面内位移一起,构成物体三维位移.对周边固定、中心加载的有机玻璃试件进行了测量,结果表明能产生质量干涉条纹,证明该方法是合理、可行的.
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