3GHz硅双极型微波静态分频器的设计

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本文报道了一种超高速ECL静态二分频器;介绍了该分频器的核心器件─—NPN晶体管的结构和实现该结构的有关先进工艺,包括深槽隔离、多晶硅发射极、钻硅化物和浅结薄基区等;使用这种多晶硅发射极晶体管,3pm特征尺寸设计的19级环形振荡器的平均门延迟小于50ps.讨论了提高分频器工作频率的一些有效方法并给出了3.2GHz硅静态分频器的电路设计和版图设计. In this paper, an ultra-fast ECL static frequency divider is reported. The core device of the frequency divider, the structure of the NPN transistor and the related advanced technology to realize the structure are introduced, including deep trench isolation, polysilicon emitter, And shallow junction thin base region; using this polysilicon emitter transistor, 3pm feature size design 19 ring oscillator average gate delay of less than 50ps. Some effective methods to improve the operating frequency of the frequency divider are discussed and the circuit design and layout design of the 3.2GHz silicon static frequency divider are given.
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