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制备了厚度为２５－２２５ｎｍ的Ｃ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｔａ和Ｗ９种元素薄膜样品，用化学分析方法测定了薄膜的质量厚度ｐｚ，并用电子探针测定了软Ｘ射线ＣＫα、ＢＫα的出射强度Ｉ０和穿过薄膜对ＣＫα、ＢＫα辐射的质量吸收数μ，并与以往的数值进行比较。
软X射线质量吸收系数的测定
【摘 要】
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制备了厚度为２５－２２５ｎｍ的Ｃ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｔａ和Ｗ９种元素薄膜样品，用化学分析方法测定了薄膜的质量厚度ｐｚ，并用电子探针测定了软Ｘ射线ＣＫα、ＢＫα的出射强度Ｉ０和穿过薄膜对ＣＫα、ＢＫα辐射的质量吸收数μ，并与以
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1999年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金!59471067
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