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BOC和MIS共同发展超临界CO2系统
BOC和MIS共同发展超临界CO2系统
来源 :国际化工信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gamearner
【摘 要】
:
<正> 工业气体巨头BOC的设备供应分公司BOCEdwards与MIS公司成立联盟,共同致力于将超临界CO_2用于半导体工业技术的商业化。
【作 者】
:
王璇
【出 处】
:
国际化工信息
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
超临界CO2系统
半导体
制造技术
晶片
干燥
清洁
光阻剥离工艺
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<正> 工业气体巨头BOC的设备供应分公司BOCEdwards与MIS公司成立联盟,共同致力于将超临界CO_2用于半导体工业技术的商业化。
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