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<正> 工业气体巨头BOC的设备供应分公司BOCEdwards与MIS公司成立联盟,共同致力于将超临界CO_2用于半导体工业技术的商业化。
BOC和MIS共同发展超临界CO2系统
【摘 要】
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<正> 工业气体巨头BOC的设备供应分公司BOCEdwards与MIS公司成立联盟,共同致力于将超临界CO_2用于半导体工业技术的商业化。
【出 处】
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国际化工信息
【发表日期】
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2003年3期
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