【摘 要】
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文中开展了具有阿基米德曲线形驱动臂的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)双晶压电执行器的设计、模拟仿真以及实验验证。为验证不同设计的表现,分别设计并
【基金项目】
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2019上海市浦江人才计划资助项目(19PJ1403900),国家自然科学基金资助项目(51775323)
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文中开展了具有阿基米德曲线形驱动臂的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)双晶压电执行器的设计、模拟仿真以及实验验证。为验证不同设计的表现,分别设计并制造了全驱动型和半驱动型压电执行器。这2种压电执行器通过商业化的生产工艺制造,与更复杂的MEMS系统兼容。采用有限元法分析了2种执行器的位移与驱动力,还开展实验分别测试了2种执行器的位移与驱动力。研究表明,在相同的驱动电压下,全驱动型压电执行器的性能优于半驱动型压电执行器。当驱动电压为110 V时,半驱动型和全
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