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两种SACP电子光学光路的比较
两种SACP电子光学光路的比较
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhongnan1999
【摘 要】
:
两种SACP电子光学光路的比较廖乾初(冶金部钢铁研究总院,北京100081)在扫描电镜中,为了获得选区电子通道花样,通常是采用所谓单偏转摇摆的聚焦电子束扫描光路 ̄[1]。根据我们实验室条件,上述的电子
【作 者】
:
廖乾初
【机 构】
:
冶金部钢铁研究总院
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
扫描电子显微镜
电子通道分析
电子光学
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两种SACP电子光学光路的比较廖乾初(冶金部钢铁研究总院,北京100081)在扫描电镜中,为了获得选区电子通道花样,通常是采用所谓单偏转摇摆的聚焦电子束扫描光路 ̄[1]。根据我们实验室条件,上述的电子束扫描方式有两种光路可以选择:(1)会聚电子束的摇...
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