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为了研究薄膜厚度对Ti-Cr合金薄膜局域结构的影响,通过磁控溅射沉积技术制备了不同厚度的Ti-Cr合金薄膜试样,合金薄膜中Ti和Cr的含量接近.利用X射线吸收精细结构(XAFS)谱和X射线衍射(XRD)仪研究了Ti-Cr合金薄膜的局域结构状态.X射线吸收近边结构谱(XANES)分析结果显示,元素的吸收边能量E0随薄膜厚度出现有规律的变化.XRD和扩展X射线精细结构吸收谱(EXAFS)结果显示,制备的合金薄膜为长程无序的非晶态,并分析了薄膜厚度对合金薄膜局域结构的影响.