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期刊论文
氟化钙晶体生长工艺研究
氟化钙晶体生长工艺研究
来源 :橡塑技术与装备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fulva
【摘 要】
:
氟化钙晶体是一种十分重要的材料,目前,随着深紫外光刻技术的不断发展,氟化钙晶体逐渐朝着高透过率、宽透光范围的方向发展,无论是在质量上还是在尺寸上,都得到了很大的优化
【作 者】
:
张志浩
索忠源
姜峰
王鑫
【机 构】
:
吉林化工学院
【出 处】
:
橡塑技术与装备
【发表日期】
:
2015年22期
【关键词】
:
氟化钙晶体
紫外光刻
生长工艺
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氟化钙晶体是一种十分重要的材料,目前,随着深紫外光刻技术的不断发展,氟化钙晶体逐渐朝着高透过率、宽透光范围的方向发展,无论是在质量上还是在尺寸上,都得到了很大的优化。本文结合氟化钙的基本性质,对其晶体的生长方式和生长工艺进行了研究。
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