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建立了电感藕合等离子法(ICP法)测定电真空器件用镍及镍合金中的Cu、Mg、Mn、Fe、Si等5种杂质元素,与中华人民共和国第四机械工业部标准SJ1538—87交直流电弧发生摄谱法测定结果进行了比较^[1]。结果表明,本方法快速、准确,可以满足电真空器件用镍及镍合金中杂质元素的测定要求。