不同夹具下薄膜的微观结构特性与其所处位置的关系

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本文从光学薄膜的微柱体结构出发,根据正切规则,对常用夹具下不同位置处的薄膜生长情况进行了分析与讨论,导出了固定平面、旋转平面、固定球面与旋转球面等四种夹具下薄膜微柱体的生长公式,并用计算机进行了模拟,直观地给出了相应的微观结构模型示意图,从而得知:旋转球面夹具下得到的微观结构为最佳。
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