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利用高分辨电子显微镜(HREM)研究了TiMnSi_2(硅化钛锰)相的原子结构及其平面缺陷。通过大角度倾转的电子衍射分析,揭示TiMnSi_2相具有简单正交结构,空间群为Pbam。高分辨电子显微分析发现,TiMnSi_2相具有3 ̄2434网格特征,并接近于五角σ相的网格特征。在TiMnSi_2相中还观察到Steinmetz等提出的假想结构,并证实它具有类似于六角反棱锥并置的H相网格特征,但由于只有2~3层,因而只能看成是TiMnSi_2中的U、D层错。