对离子束外延氧化铈/硅热处理行为的初步研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：willingqiu

【摘要】

：

对不同的Ｏ，Ｃｅ束流比条件下用离子束外延方法生长的氧化铈／硅薄膜在热处理前和干氧气氛中经不同温度热退火后进行俄歇电子能谱深度剖析测量。结果显示出在Ｓｉ衬底上生长的具有正化学配

【作者】

：

黄大定王军杰杨锡震吴正龙

【机构】

：

中国科学院半导体研究所,北京师范大学物理系,北京师范大学分析测试中心

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1997年7期

【关键词】

：

离子束外延 IBE 化学配比外延层双晶衍射低价氧化物 AES 外延膜低氧化物硅器件氧化铈初步研究

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

对不同的Ｏ，Ｃｅ束流比条件下用离子束外延方法生长的氧化铈／硅薄膜在热处理前和干氧气氛中经不同温度热退火后进行俄歇电子能谱深度剖析测量。结果显示出在Ｓｉ衬底上生长的具有正化学配比的ＣｅＯ２和铈的低价氧化物具有明显不同的热处理行为，对与此有关物理过程作了初步探讨。结果还表明ＩＢＥＣｅＯ２／Ｓｉ结构经高温处理后在界面上形成了一层ＳｉＯ２，而外延层内的化学配比可接近正常值，从而显示出该材料工作温度尚可提

其他文献

血府逐瘀口服液中芍药苷含量的测定

目的建立血府逐瘀口服液中芍药苷含量测定的方法。方法用RP—HPLC法测定血府逐瘀口服液中芍药苷的含量，固定相为ZORBAXSB-C18柱（4．6×250mm，5μm）；流动相为乙腈：甲醇：1％冰醋酸（5：24：7

期刊

血府逐瘀口服液芍药苷反相高效液相色谱法Xuefuzhuyu liquorPeoniflorin RP-HPLC

琥珀酰明胶高容量血液稀释结合控制性降压用于脊柱外科手术的观察

目的评价术前急性高容量血液稀释（AHH）应用于脊柱外科手术中节约用血的安全性。方法50例ASAⅠ～Ⅱ级腰椎骨折开放复位内固定病人，随机均分为观察组（G组）和对照组（R组）。G组，常规输入复

期刊

琥珀酰明胶血液稀释控制性降压脊柱外科手术Gelafusine Hemodilution Deliberate hypotension Spinal su

忆秦伯未老师的治学精神

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

期刊

秦伯未《谦斋医学讲稿》程门雪气血两虚丁甘仁下肢浮肿治学精神

中药内治膝关节骨性关节炎80例疗效观察

目的：观察自制中药补肾壮骨汤治疗膝关节骨性关节炎的疗效。方法：将80例膝关节骨性关节炎患者随机分为治疗组和对照组,治疗组内服自制中药,配合神灯照射、功能锻炼治疗;对照组

期刊

膝关节骨性关节炎中药内治疗效

托槽转矩对上颌前牙整体内收影响的三维有限元分析

目的探讨托槽转矩角度不同在内收前牙过程中对前牙冠根的控制。方法选择一例正常牙合男性样本,采用三维软件Mimics、Geomagic、Solidworks对其CT数据进行重建,在Ansys Workbe

期刊

托槽转矩三维重建三维有限元分析

节能与新能源汽车重大项目研发

经过多年建设，吉林大学混合动力汽车课题组已具备了较先进的混合动力汽车研发条件，形成了以混合动力汽车仿真计算平台、混合动力汽车多能源动力总成控制器软硬件开发平台及混合

期刊

研发机构新能源汽车重大项目混合动力汽车多能源动力总成节能硬件开发平台吉林大学

“一个目标”“两轮驱动”“三个抓手”“四种途径”——宜春市地税局大力推进健康地税建设

会议

新华DEH在小机组汽机控制中的应用

本文以张家港骏马热电为例，介绍了DEH系统在小机组汽机控制中的应用情况。

期刊

DEH系统小机组汽机控制骏马热电

他汀类药物对急性缺血性卒中预后影响的临床研究

目的评估发病前使用他汀类药物对急性缺血性卒中发病时症状严重程度及出院时功能转归的影响。方法回顾性分析2006年1月至10月上海交通大学医学院附属新华医院神经内科住院治

期刊

脑血管意外缺血性卒中他汀类药物预后

中央纪委国家监委印发《纪检监察统计分析指标体系(试行)》

期刊

中央纪委政治效果监督检查纪检监察《纪检监察统计分析指标体系(试行)》分析指标

对离子束外延氧化铈/硅热处理行为的初步研究

与本文相关的学术论文