论文部分内容阅读
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器，磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理，提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品，并进行了测试。测试结果表明：得到的MEMS磁传感器的电容灵敏度可达到27．7W／mT，且具有良好的线性度。根据现有的微小电容检测技术，传感器的磁场分辨率可达到36nT。