【摘 要】
：
针对单晶硅片高精度研磨抛光中存在的问题 ,从摩擦学理论出发 ,模拟了磨粒切痕方向、磨粒轨迹形态的变化过程 ,揭示了运动参数对研抛的表面质量、纹理方向、表面完整性的影响
【机 构】
：
沈阳建筑工程学院!沈阳110015,沈阳建筑工程学院!沈阳110015,沈阳建筑工程学院!沈阳110015,东北大学!沈阳110006
论文部分内容阅读
针对单晶硅片高精度研磨抛光中存在的问题 ,从摩擦学理论出发 ,模拟了磨粒切痕方向、磨粒轨迹形态的变化过程 ,揭示了运动参数对研抛的表面质量、纹理方向、表面完整性的影响规律。
Aiming at the problems existing in high-precision single-crystal silicon wafer grinding and polishing, from the tribology theory, the change process of the grain cutting direction and the shape of the abrasive particle trajectory was simulated, and the influence of motion parameters on the surface quality, texture direction, Surface integrity of the law of influence.
其他文献
在潜水电泵的型式试验中,温升试验是考核潜水屯泵电机性能的一个重要指标。通常电动机的温升有四种测量方法,即电阻法、埋置检温计(EDT)法、温度计法和叠加法(亦称双桥带电
小儿气管切开术后护理齐桂云王艳（附属第一医院）小儿气管切开在耳鼻喉科见于急性喉炎或因支气管异物所致的喉梗阻。对于成年人术后护理已规范化，而对小儿气管切开术后护理会带来
ZL50D轮式装载机,于1989年12月通过了省级鉴定。鉴定委员会认为,该机性能先进,工作效率高,结构合理,使用安全可靠。1 主要性能参数额定载重量(kg) 5000 额定斗容量(m~3) 2.7
由机电部合肥通用机械研究所与山东潍坊生建机械厂联合设计、研制成功的3D-z型往复式高压注水泵,经过近一年的油田矿场工
By the Ministry of Mechanical and Electrical H
EOR技术新应用的可行性研究在于采用分期注入方针，围绕热采技术（因热采法无论在实验室研究还是油田应用都证明采收率是最高的一种方法）对现有的EOR方法的各种结合应用。所设计的
目的 研究后程加速超分割放疗联合化疗治疗局部晚期食管鳞癌的疗效.方法 将76例局部晚期食管鳞癌患者随机分为后程加速超分割放疗联合化疗(LCAF+CT)组及常规放疗联合化疗(CF+CT)组.LCAF+CT组于放疗前先行诱导化疗2次,化疗后先行常规分割放疗至36 Gy,缩野后程加速超分割放疗至原发灶总剂量60～66 Gy.CF+CT组化疗方法与LCAF+CT组相同,放疗采用常规分割,原发灶总剂量为60
本文总结了二个单位六年共收治30例儿童颅内蛛网膜囊肿（I．A．C），其中幕上24例，幕下6例，原发20例，续发10例，单发24例，多发6例。30例I．A．C中16例采用显微手术行囊肿全切除。其余14例行直视下
《中国中医药报》2016年4月20日讯:美国旧金山当地时间2016年4月16日,由美国中药联商会主办的2016国际中医药学术研讨会在黑龙江中医药大学美国分校召开,首批海外中药师职称
PDCA的循环管理模式是一种先进的管理理念,本文通过详细探讨PDCA的内涵概念,将此种管理模式应用在基层医院消毒供应中心手术器械管理过程中,并对每个环节进行了详细的解释,进
例1男，1．5岁。第1胎，足月，正常产。8个月前发育同正常儿，以后反复患肺炎，四肢进行性瘫痪。8个月时双下肢不能站立，双手握持无力，但精神正常，哺乳正常。10个月时双下肢仅能水平移动，双肘