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化学气相淀积反应器中成核与成膜控制
化学气相淀积反应器中成核与成膜控制
来源 :化工学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xpzcz1987
【摘 要】
:
基于气溶胶动力学和化学反应动力学,建立了化学气相淀积(CVD)反应器中普适动力学方程,导出了CVD反应器中超细颗粒粒径分布谱函数和薄膜淀积速率的计算方法;研究了操作参数对
【作 者】
:
李春忠
胡黎明
袁渭康
陈敏恒
【机 构】
:
华东化工学院技术化学物理研究所,华东化工学院技术化学物理研究所上海200237,上海200237,上海200237
【出 处】
:
化工学报
【发表日期】
:
1993年5期
【关键词】
:
气相淀积
粒度
薄膜
反应器
气溶胶
chemical vapor deposition
particle size distribution
film g
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目
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基于气溶胶动力学和化学反应动力学,建立了化学气相淀积(CVD)反应器中普适动力学方程,导出了CVD反应器中超细颗粒粒径分布谱函数和薄膜淀积速率的计算方法;研究了操作参数对钛酸丁酯高温裂解过程中成核与成膜的影响.用成核与成膜竞争判据——H准数,研究了CVD反应器中成核与成膜的控制策略.
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