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随着我国经济的飞速发展，多晶硅生产得到了前所未有的发展。为了进一步降低多晶硅企业的生产成本，提高其市场竞争力，针对目前国内外改良西门子法生产多晶硅的主要装置工艺进行了考察。通过对多晶硅生产中工艺装置的能耗分析，从能量耦合利用、能量回收综合利用和新高效节能工艺的角度出发，提出采用多效精馏、还原热能综合利用系统和冷氢化工艺来代替原有多晶硅的生产工艺。结果表明:通过采取上述措施后，能够大幅度降低多晶硅行业的生产成本，为今后再建多晶硅企业和挖潜改造提供一定的指导作用。