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为了消除系统外产生的误差因素，提高液体静压导轨的定位精度，从而使超精密数控机床的加工精度得到提高，搭建UMAC运动控制器、TRUST线性驱动器以及上位机的硬件平台。通过雷尼绍激光干涉仪，测量静压导轨在全闭环控制下的定位精度，建立误差补偿表，利用UMAC定位精度补偿功能对液体静压导轨定位精度进行实时软件补偿。测试结果表明：基于UMAC误差补偿功能使液体静压导轨的定位精度得到了有效提高，定位精度达到±0．6μm，最终结果达到预期效果。