Vehicle OHT Dispatching Performance Analysis of an AMHS in 300 mm Semiconductor FABs

来源 :Journal of Donghua University(English Edition) | 被引量 : 0次 | 上传用户：ssttll

【摘要】

：

To improve the performance of an automated material handling system (AMHS) in 300 mm semiconductor fabrication plants (FABs), an overhead-hoist-transport (OHT)

【作者】

：

周炳海 ANAR Jean-Marie 郑雯

【机构】

：

SchoolofMechanicalEngineering

【出处】

：

Journal of Donghua University(English Edition)

【发表日期】

：

2012年3期

【关键词】

：

overhead-hoist-transport (OHT) HUNGARIAN algorithm cost matrix DISPATCHING RULE

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To improve the performance of an automated material handling system (AMHS) in 300 mm semiconductor fabrication plants (FABs), an overhead-hoist-transport (OHT) vehicle dispatching problem was described for semiconductor FABs. An original wafer lot dispatc

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