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本文尝试了一种精密大平面的平面度测量方法——衍射平面的基准法,对此进行了可行性实验研究,并且和电子水平测量仪所测得的结果进行了对比,指出该方法目前存在的主要问题和改进方向。
精神大平面平面度测量的一种新方法—衍射平面基准法的研究
【摘 要】
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本文尝试了一种精密大平面的平面度测量方法——衍射平面的基准法,对此进行了可行性实验研究,并且和电子水平测量仪所测得的结果进行了对比,指出该方法目前存在的主要问题和
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学
【出 处】
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磨床与磨削
【发表日期】
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1993年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金会
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