【摘 要】
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采用CaF2, Y2O3和Li2CO3做添加剂,在低温下制备了高热导率的AlN陶瓷,通过SEM,TEM和XRD研究了AlN陶瓷在烧结过程中微结构及晶格常数的变化及其对热导率的影响.研究发现,当使用
【机 构】
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清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 ( 5 9995 5 2 3 )
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采用CaF2, Y2O3和Li2CO3做添加剂,在低温下制备了高热导率的AlN陶瓷,通过SEM,TEM和XRD研究了AlN陶瓷在烧结过程中微结构及晶格常数的变化及其对热导率的影响.研究发现,当使用CaF2和CaF2-Y2O3做添加剂时,液相对晶粒浸润性较差,不利于AlN晶格的纯化.而添加Li2O-CaF2-Y2O3的AlN陶瓷在烧结温度之前已经完成了液相的重新分布,液相与AlN晶粒之间有较好的浸润性,这促进了AlN陶瓷的致密化和AlN晶格的纯化,有利于获得较高的热导率.
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