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研究了利用图像匹配技术来扩大原子力显微镜的测量范围的方法,通过对表面粗糙度测量结果的分析验证了该方法的可靠性,并得出了面粗糙度比线粗糙度更能体现试件表面形貌特征的结论。
图像匹配技术用于扩展原子力显微镜测量范围的应用与研究
【摘 要】
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研究了利用图像匹配技术来扩大原子力显微镜的测量范围的方法,通过对表面粗糙度测量结果的分析验证了该方法的可靠性,并得出了面粗糙度比线粗糙度更能体现试件表面形貌特征的结论。
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨工业大学精密工程研究所 150001,150001,150001
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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2004年04期
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