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安智（AZ）电子材料将于IBM—Almaden研究中心的材料研发团队共同开发一种以块状聚合物为基础的材料，可以应用在与传统的微影及半导体制程设备相容的定向自组装（Directed Self—Assembly，DSA）制程。
安智电子材料携手IBM创新半导体制程
【摘 要】
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安智（AZ）电子材料将于IBM—Almaden研究中心的材料研发团队共同开发一种以块状聚合物为基础的材料，可以应用在与传统的微影及半导体制程设备相容的定向自组装（Directed Self—Ass
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2011年2期
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