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针对IC晶片导线特征检测中的难点,介绍一种基于图像处理技术的导线特征分析和缺陷检测方法，把由局部缺陷引起的线路短路、开路故障分析归结为多条平行线宽和线距的分析．先通过Hough变换实现导线边缘的直线拟合和线宽、线距的亚像素测量，再根据测量结果建立起导线边缘标准模型，并把边缘图像的二维信号转换为一维信号进行分析，最终实现导线特征的分析和缺陷的定位；仿真和实际运用结果表明该方法使IC晶片导线特征分析简单化，并使缺陷分析定位变得更加方便灵活。